LP-CVD Tempress TS-61004-4
Kenngrößen
- Refurbishment und Inbetriebnahme im Jahr 2000
- Wafergröße: 100 mm
- 4 Rohre mit je 3 Heizzonen
- Länger der Flat Zone (Temperaturregelung auf +/- 0,5 °C): 95-100 cm
- Anzahl Wafer pro Fahrt: 50-100
- Höhe: 2455 mm
- Gewicht: Beladestation: ca. 800 kg, Gassteuereinheit: ca. 1000 kg,
Ofeneinheit: ca. 1500 kg
- Stromanschluss: 380V, 50Hz, 5 Phasen
Prozesse:
- Rohr 1: High-Temperature Oxide (HTO) / Siliziumnitrid (SiN)
- Rohr 2: High-Temperature Oxide (HTO) / Siliziumnitrid (SiN)
- Rohr 3: Polysilizium
- Rohr 4: Low-Temperature Oxide (LTO) / Phosphor-Silikatglas (PSG)
Bestandteile:
- Ofenteil
- Beladestation
- Gas Cabinet
- Steuerrechner
Detaillierte Beschreibung steht zum Download bereit.